無塵凈化車間的主要作用是控制商品(如硅片)接觸的大氣的清潔度和溫濕度,使商品能夠在良好的環境空間中生產制造,我們稱之為無塵凈化車間。根據世界慣例,無塵凈化水平主要基于每立方米空氣中直徑大于區別標準的顆粒數量。
換句話說,所謂的無塵不是100%沒有灰塵,而是被控制在一個非常小的單元中。
當然,與我們經常看到的灰塵相比,本規范中符合灰塵規范的顆粒已經非常小了。然而,就光學結構而言,即使是一點點灰塵也會產生非常大的負面影響。因此,在光學結構產品的生產中,山東無塵凈化車間是必然的要求。
無塵凈化車間的設備相當昂貴。除了各種消防器材外,還需要滿足以下要求:
設置自動噴水滅火系統時,宜采用預作用自動噴水滅火系統。當設置氣體滅火系統時,不應該使用哈龍1211和可能導致窒息和受保護物體二次損壞的滅火劑。無塵凈化車間給排水管道的敷設方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度。因此,《規范》要求管道盡可能鋪設在潔凈室之外,以最大限度地減少凈化項目中的管道數量。
目前,無塵凈化車間管道布置包括:
各種主管布置在技術夾層、技術通道和技術豎井內。對于上下夾層的無塵凈化車間,給排水主管大多設置在下夾層;隱蔽立管可設置在墻板、異型磚、管溝或技術通道中;支管通過主管或垂直管引入潔凈室。
從上下夾層引入潔凈室20~30cm,然后與設備的二次管道連接。安裝在技術通道中的管道和閥門可以安裝在露天或黑暗中。
無塵凈化車間均是一個恒溫恒濕的房間,生產過程所需的各種管道有不同的水溫要求。管道內外的溫差可能導致管道外壁冷凝,影響室內溫度和濕度。因此,可能結露的管道應采取防凝露措施。
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